玻璃基板上金膜圖案化的加工實(shí)例分析

加工概述和特點(diǎn)

金膜厚度：100nm

加工區(qū)域：500μm ×500μm 間距：300μm

通過(guò)與外部AOM同步，脈沖ON/OFF以1μs的時(shí)間分辨率進(jìn)行控制。

~內(nèi)置外部AOM同步系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)1MHz的逐拍控制~

思百吉建立了一個(gè)系統(tǒng)，可以通過(guò)同步振蕩器和外部AOM來(lái)控制脈沖ON/OFF，時(shí)間分辨率為1μs。 通過(guò)使用該系統(tǒng)在加工過(guò)程中更改和設(shè)計(jì)圖紙圖案，我們實(shí)現(xiàn)了加工時(shí)間的縮短。

在這一開(kāi)發(fā)中，我們實(shí)現(xiàn)了定期打開(kāi)和關(guān)閉激光脈沖發(fā)射的控制。 將來(lái)，我們希望繼續(xù)進(jìn)行開(kāi)發(fā)，以便能夠以更高的自由度控制激光脈沖發(fā)射，例如掃描儀操作和與外部驅(qū)動(dòng)軸的同步。

帶或不帶加工驗(yàn)證內(nèi)容的圖紙比較 _AOM