半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計半導(dǎo)體制造用PFA制小型卡曼渦流流量計

1. 結(jié)構(gòu)簡單：流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器，結(jié)構(gòu)簡單，壓力損失小，不易漏液。
2. 檢測器不與液體相接：因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控，機身材質(zhì)采用PFA，無粒子。
3. 適用于全球規(guī)格：獲得CE標(biāo)志認(rèn)證。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì)：無O環(huán)，適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控。
5. 可靠性、耐用性良好：沒有可移動部分，不會因安裝姿勢而產(chǎn)生誤差。
6. 內(nèi)置溫度傳感器：在有液體通過時，實現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測性，通過溫度補償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差。
7. 防水性相當(dāng)于IP 65等級：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動。

1. 結(jié)構(gòu)簡單：流路中只有渦流發(fā)生器和渦流檢測器，結(jié)構(gòu)簡單，壓力損失小，不易漏液。
2. 檢測器不與液體相接：因此適合用于各種液體工藝流程的監(jiān)控，機身材質(zhì)采用PFA，無粒子

   。
3. 適用于全球規(guī)格：獲得CE標(biāo)志認(rèn)證。
4. 接液部分采用聚四氟乙烯材質(zhì)：無O環(huán)，適合用于半導(dǎo)體工藝流程中液體流量的監(jiān)控

   。
5. 可靠性、耐用性良好：沒有可移動部分，不會因安裝姿勢而產(chǎn)生誤差。
6. 內(nèi)置溫度傳感器：在有液體通過時，實現(xiàn)了液體溫度的可監(jiān)測性，通過溫度補償減少了因液溫變化而產(chǎn)生的精度誤差

   。
7. 防水性相當(dāng)于IP 65等級：電源為12-24VDC單電源驅(qū)動

   。