中空型式精確定位工作臺直動滑臺

中空型式精確定位工作臺直動滑臺

壓電滑臺基本系列_中空型式壓電滑臺中間開口的產品系列，適用于正/背檢、雷射穿透，結合顯微鏡及分析設備或儀器進行細微觀察、高精度測繪測量等。

從多軸薄型到大開口型提供適用于小型設備的多軸輕薄類型，和適合大尺寸面板的大開口類型。

進行平滑且精確的掃描透過高精度的回授控制，可根據(jù)指令訊號實現(xiàn)高可靠性的操作。

產品有2種機構類型：分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。

直接驅動機構

壓電滑臺基本系列_中空型式壓電滑臺中間開口的產品系列，適用于正/背檢、雷射穿透，結合顯微鏡及分析設備或儀器進行細微觀察、高精度測繪測量等。

從多軸薄型到大開口型提供適用于小型設備的多軸輕薄類型，和適合大尺寸面板的大開口類型。

進行平滑且精確的掃描透過高精度的回授控制，可根據(jù)指令訊號實現(xiàn)高可靠性的操作。

產品有2種機構類型：分為共振頻率高、強調高速響應的「直接驅動機構」和較長行程的「位移放大機構」。

直接驅動機構