產(chǎn)品資料
半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥旋泵專用 · 電磁瞬時關(guān)斷 · 零油逆流 · 緊湊 A5 尺寸響應(yīng) < 10 ms · 壽命 10? 次 · 真空污染一、產(chǎn)品定位旋泵專用：油旋片泵、活塞泵、滑閥泵停機(jī)瞬間防止油霧逆流電磁瞬時關(guān)斷：< 10 ms 響應(yīng)，斷電即鎖死，真空腔零油污染緊湊型：A5 紙尺寸，可直接貼泵體安裝，不額外占地零油逆流：真空側(cè)保持潔凈，適合分析、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室
半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥 的詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
半導(dǎo)體分析用緊湊型全真空電磁式真空閥
旋泵專用 · 電磁瞬時關(guān)斷 · 零油逆流 · 緊湊 A5 尺寸
響應(yīng) < 10 ms · 壽命 10? 次 · 真空側(cè)
一、產(chǎn)品定位
- 旋泵專用：油旋片泵、活塞泵、滑閥泵停機(jī)瞬間防止油霧逆流
- 電磁瞬時關(guān)斷：< 10 ms 響應(yīng)，斷電即鎖死，真空腔零油污染
- 緊湊型：A5 紙尺寸，可直接貼泵體安裝，不額外占地
- 零油逆流：真空側(cè)保持潔凈，適合分析、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)
二、核心技術(shù)參數(shù)（AYUMI 電磁真空閥）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 常閉電磁閥 + 真空兼容密封 |
| 響應(yīng)時間 | < 10 ms（斷電→鎖死） |
| 壽命 | >10? 次（真空切換） |
| 密封材質(zhì) | FKM + 不銹鋼 316L（真空側(cè)） |
| 真空度 | 1×10?3 Pa → 大氣壓（全范圍） |
| 泄漏率 | < 1×10?? Pa·m3/s（氦檢） |
| 接口 | 寶塔 Φ8 mm（可轉(zhuǎn) NW16/NW25） |
| 電源 | DC 12 V / 24 V（可選），功率 3 W |
| 尺寸/重量 | 148×105×32 mm，0.28 kg |
| 環(huán)境溫度 | -10 – 60 ℃（無凝露） |
| 認(rèn)證 | CE / RoHS / REACH |
三、功能亮點(diǎn)
- < 10 ms 瞬時關(guān)斷：斷電瞬間鎖死，零油霧逆流，真空腔無油污染
- >10? 次壽命：真空專用電磁線圈，連續(xù)開關(guān)無磨損
- 全真空范圍：1×10?3 Pa → 大氣壓，不卡死、不漏氣
- A5 緊湊尺寸：貼泵體安裝，不額外占地，適合小型泵
- 真空側(cè)：316L + FKM，無油潤滑，Class 100 兼容
- DC 12 V / 24 V 可選：直接接泵電源，無需額外變壓器
四、典型應(yīng)用接線圖
旋片泵 + AYUMI 電磁閥┌─ 真空腔 ─┐│ │進(jìn)口← 電磁閥 ← 旋片泵│ │└─ 回大氣 ──┘- 電磁閥線圈與泵電源并聯(lián)（DC 24 V）
- 泵斷電 → 閥瞬時關(guān)斷 < 10 ms，腔體保持真空，零油逆流
五、實(shí)測數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證）
- 旋片泵 2 L/min，斷電測試 100 次
- AYUMI 電磁閥：
- 關(guān)斷時間 8 ms（平均）
- 真空保持 >1 h，無油霧回流
- 壽命 >10? 次（連續(xù)開關(guān) 24 h×365 d）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| AYUMI-VAC-12 | DC 12 V 型 |
| AYUMI-VAC-24 | DC 24 V 型 |
| AYUMI-NW16 | NW16 快接法蘭套件 |
| AYUMI-DC24-PWR | 24 V 電源適配器（可選） |
七、維護(hù)與可靠性
- 電磁線圈：真空專用，壽命 >10? 次，免維護(hù)
- 密封圈：FKM，壽命 >5 年，可更換
- 閥體：316L，無磨損，年漂移 < 0.5 %
- 整機(jī) 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結(jié)論
AYUMI 電磁式真空閥以「< 10 ms 瞬時關(guān)斷 + >10? 次壽命 + 全真空范圍 + A5 緊湊」四合一設(shè)計(jì)，讓旋片泵停機(jī)瞬間獲得「零油逆流、真空保持」清潔真空，是緊湊型電磁真空閥的「防逆流標(biāo)準(zhǔn)機(jī)」
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