半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器

半導(dǎo)體膜厚測定用深紫外連續(xù)波激光器

一、產(chǎn)品定位

• 半導(dǎo)體檢測工業(yè)用：膜厚測定、缺陷掃描、UV-Vis 光譜、反射率
• 連續(xù)波 213 nm：深紫外 DUV，連續(xù)波，5-500 mW，±0.1 % 穩(wěn)定性
• 工業(yè)級(jí)：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 ℃，工業(yè)級(jí)漂移
• Opt-Oxide CW 213nm：CW 連續(xù)波，213 nm，5-500 mW，即插即用

二、核心技術(shù)參數(shù)（CW 213nm）

三、功能亮點(diǎn)

1. 213 nm 深紫外：DUV 連續(xù)波，適合 < 5 nm 超薄膜測定
2. ±0.1 % 超高穩(wěn)定性：1 h 漂移 < 0.1 %，膜厚重復(fù)性 < 0.01 nm
3. 5-500 mW 連續(xù)可調(diào)：5-500 mW 連續(xù)可調(diào)，適合不同工藝段
4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
5. 0.28 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
6. 5 年壽命：連續(xù)波無磨損，5 年免維護(hù)

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

半導(dǎo)體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│               │激光← CW-213 ← 真空饋通 FC│               │└─ 光譜儀 ────┘

• 真空度 ≤ 1×10?? Pa，213 nm 連續(xù)照射
• 光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）

• 真空：1×10?? Pa，25 ℃
• CW-213nm：
• 功率 100 mW（±0.1 %）
• 穩(wěn)定性 ±0.1 %（1 h）
• 壽命 5 年（連續(xù)運(yùn)行）

六、選型與配件

一、產(chǎn)品定位

• 半導(dǎo)體檢測工業(yè)用：膜厚測定、缺陷掃描、UV-Vis 光譜、反射率
• 連續(xù)波 213 nm：深紫外 DUV，連續(xù)波，5-500 mW，±0.1 % 穩(wěn)定性
• 工業(yè)級(jí)：真空 ≤1×10?? Pa，0-180 ℃，工業(yè)級(jí)漂移
• Opt-Oxide CW 213nm：CW 連續(xù)波，213 nm，5-500 mW，即插即用

二、核心技術(shù)參數(shù)（CW 213nm）

三、功能亮點(diǎn)

1. 213 nm 深紫外：DUV 連續(xù)波，適合 < 5 nm 超薄膜測定
2. ±0.1 % 超高穩(wěn)定性：1 h 漂移 < 0.1 %，膜厚重復(fù)性 < 0.01 nm
3. 5-500 mW 連續(xù)可調(diào)：5-500 mW 連續(xù)可調(diào)，適合不同工藝段
4. ≤ 1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
5. 0.28 kg 超輕：A5 底面積，可手提移動(dòng)，實(shí)驗(yàn)室即用
6. 5 年壽命：連續(xù)波無磨損，5 年免維護(hù)

四、典型應(yīng)用系統(tǒng)

半導(dǎo)體膜厚測定┌─ 真空腔體 ─┐│               │激光← CW-213 ← 真空饋通 FC│               │└─ 光譜儀 ────┘

• 真空度 ≤ 1×10?? Pa，213 nm 連續(xù)照射
• 光譜儀采集反射光譜，膜厚精度 ≤ 0.01 nm

五、實(shí)測數(shù)據(jù)（半導(dǎo)體驗(yàn)證）

• 真空：1×10?? Pa，25 ℃
• CW-213nm：
• 功率 100 mW（±0.1 %）
• 穩(wěn)定性 ±0.1 %（1 h）
• 壽命 5 年（連續(xù)運(yùn)行）

六、選型與配件