簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計

產(chǎn)品名稱: 簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計

產(chǎn)品型號: CRDS

產(chǎn)品特點: 簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計
技術(shù)路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學(xué)試劑或耗材。
代表機型
SPARK 系列
免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景
HALO

簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計 的詳細介紹

簡易型高純度半導(dǎo)體氣體測量用微量分析計

技術(shù)路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學(xué)試劑或耗材。
代表機型

在 SPARK 基礎(chǔ)上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護
主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景

SPARK 系列
HALO KA Max 系列

性能亮點

檢測下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
免校準(zhǔn)、長期零漂移，適合無人值守在線運行
接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩(wěn)定性高

技術(shù)路線
采用高性能光腔衰蕩光譜 (CRDS) 技術(shù)，通過測量激光在高品質(zhì)諧振腔內(nèi)的指數(shù)衰蕩時間，直接換算出 ppm/ppb 級痕量氣體濃度，無需化學(xué)試劑或耗材。
代表機型

在 SPARK 基礎(chǔ)上擴展了 NH? 等更多雜質(zhì)通道，同樣免維護
主要面向超高純氣體與半導(dǎo)體工藝
免校準(zhǔn)、免耗材，生命周期成本低
小流量即可高響應(yīng)，可測 H?O、CO、CO?、CH?、C?H? 等多種雜質(zhì)
適用于高純氣體、半導(dǎo)體特氣、低溫分離裝置等場景

SPARK 系列
HALO KA Max 系列

性能亮點

檢測下限：常見雜質(zhì) 1 ppb–100 ppt 級
免校準(zhǔn)、長期零漂移，適合無人值守在線運行
接氣部分為 SUS 等耐腐材質(zhì)，可測腐蝕性氣體；傳感器與激光/探測器非接觸，長期穩(wěn)定性高

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體廠高純 N?、H?、Ar、He 中 H?O、CO、CO?、CH?、NH? 的 ppb 級監(jiān)控
空分、低溫分離裝置產(chǎn)品質(zhì)量保證
鋼瓶充裝、槽車運輸過程抽檢

使用與維護

開機即用，無需量程切換、漂移校正或耗材更換
結(jié)構(gòu)緊湊，可臺式、19″機架或便攜式安裝；支持模擬/數(shù)字輸出，方便接入 DCS

總結(jié)：TEKHNE 的 CRDS 分析計以“免校準(zhǔn)、免耗材、ppb 級精度"為核心賣點，SPARK 與 HALO KA Max 兩大系列覆蓋了從現(xiàn)場抽檢到半導(dǎo)體超純氣體在線監(jiān)測的多種需求，是當(dāng)前痕量水分和氣體雜質(zhì)檢測的利器。

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