低濃度臭氧環(huán)境測(cè)量半導(dǎo)體制造用

低濃度臭氧環(huán)境測(cè)量半導(dǎo)體制造用

測(cè)量性能

• 測(cè)量方法：采用紫外線吸收法，依據(jù)朗伯-比爾定律，通過(guò)光度吸收原理精確測(cè)量臭氧濃度。
• 測(cè)量范圍：低濃度測(cè)量范圍為0至0.2ppm，中濃度測(cè)量范圍為0至0.5ppm。
• 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負(fù)值。
• 精度：線性度、再現(xiàn)性和準(zhǔn)確性均為±0.5%/滿量程。
• 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。

設(shè)備設(shè)計(jì)

• 樣品流速：1.5至2升/分鐘。
• 測(cè)量周期：12秒（標(biāo)準(zhǔn)）。
• 顯示：濃度顯示為L(zhǎng)ED大寫(xiě)字母（紅色），信息顯示為綠色小寫(xiě)字母，兩行顯示。
• 輸出功能：具備瞬時(shí)值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時(shí)平均值0至1V DC的輸出。同時(shí)配備遙測(cè)輸出和RS-232C接口。

環(huán)境適應(yīng)性

• 工作溫度：0至45°C。
• 工作濕度：10至80%（無(wú)冷凝）。
• 溫度補(bǔ)償功能：內(nèi)置反應(yīng)池溫度傳感器。
• 壓力補(bǔ)償功能：反應(yīng)池內(nèi)內(nèi)置壓力傳感器。

物理特性

• 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA。
• 外形尺寸：430寬×132高×410深。
• 重量：約10公斤。

適用場(chǎng)景

測(cè)量性能

• 測(cè)量方法：采用紫外線吸收法，依據(jù)朗伯-比爾定律，通過(guò)光度吸收原理精確測(cè)量臭氧濃度。
• 測(cè)量范圍：低濃度測(cè)量范圍為0至0.2ppm，中濃度測(cè)量范圍為0至0.5ppm

  。
• 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負(fù)值

  。
• 精度：線性度、再現(xiàn)性和準(zhǔn)確性均為±0.5%/滿量程。
• 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。

設(shè)備設(shè)計(jì)

• 樣品流速：1.5至2升/分鐘

  。
• 測(cè)量周期：12秒（標(biāo)準(zhǔn)）。
• 顯示：濃度顯示為L(zhǎng)ED大寫(xiě)字母（紅色），信息顯示為綠色小寫(xiě)字母，兩行顯示

  。
• 輸出功能：具備瞬時(shí)值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時(shí)平均值0至1V DC的輸出。同時(shí)配備遙測(cè)輸出和RS-232C接口

  。

環(huán)境適應(yīng)性

• 工作溫度：0至45°C

  。
• 工作濕度：10至80%（無(wú)冷凝）

  。
• 溫度補(bǔ)償功能：內(nèi)置反應(yīng)池溫度傳感器

  。
• 壓力補(bǔ)償功能：反應(yīng)池內(nèi)內(nèi)置壓力傳感器

  。

物理特性

• 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA

  。
• 外形尺寸：430寬×132高×410深

  。
• 重量：約10公斤

  。

適用場(chǎng)景